英特格ENTEGRIS,气体扩散器，CG2NDD050R2
Chambergard FV50D XL 气体扩散器
快速减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间，并具有高效且坚固的镍盘膜。
额定循环次数为 1,000,000 次，设计用于在更高的入口压力下运行
紧凑型扩散器单元中的专利烧结镍技术可在所有应用中提供卓越的性能
从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，最大限度地减少晶圆缺陷
易于安装/改装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
Chambergard FV50D XL 气体扩散器应用
提供快速的气体排放到大气中，而不会干扰或向腔室中的晶片添加颗粒
料 扩散器元件：烧结镍膜过滤器
外壳：316L不锈钢
内部表面光洁度：<32 µin Ra
O形圈 材质：氟橡胶
尺寸：2-229
槽内径：59.9 毫米（2.36 英寸）
凹槽外径：67.9 毫米（2.67 英寸）
凹槽深度：2.6 毫米（0.10 英寸）
连接 入口： 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
出口：ISO NW50 隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容
下游清洁度 清洁度 小于 0.03 个颗粒/升 (< 1 个颗粒/ft 3 ) >0.01 µm 额定流量
移除等级 >0.0015 µm
运行条件 出口至真空的最大入口/出口压力：4 bar (70 psig)
最大压差：5 bar (75 psid)
最高工作温度：100°C (212°F)，带 O 形圈；400°C (752°F) 无 O 形圈
保修单 5 年或 1,000,000 次循环