ENTEGRIS英特格，WGMXMSBW3，WGMXMSBW2，WGMXMPSS4
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
幻灯片细节。
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克 117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR 127 毫米（5.00 英寸）