英特格Eximor® SV1 一次性过滤器，PRLV0S1S1
Eximor SV1 一次性过滤器是高清洁使用点 (POU) 过滤器，适用于 RRC 溶剂和 NTD 显影剂等关键光化学物质。
在 28 nm 以下的技术节点提供出色的粒子保留和快速启动
芯填充结构减少了整个过滤器启动时间并降低了过滤器启动期间的成本
高效启动有助于减少缺陷并实现快速、高稳定性和可重复性
专有的聚乙烯基薄膜技术可减少晶圆上的缺陷并以低压力损失去除细颗粒
非筛分效应进一步减少颗粒并在启动过程中将清洁溶剂输送到晶圆上
产品规格
材料 筛选 UPE
外壳、核心、支撑 高密度聚乙烯（HDPE）
O型圈（OF型） 卡雷兹
使用条款 最大工作压力 0.34 Mpa @ 25°C
最大允许正压差/反向压差 0.27MPa @ 25°C
最高工作温度 40°C
对应化学液 环己酮 (CHN)、甲基戊基酮 (MAK)、乙酸正丁酯 (nBA)、乳酸乙酯 (EL)、丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA)、丙二醇单甲醚 (PGME)、所有 PGME/PGMEA 混合溶剂
保持音量 110 毫升
流量 250 mL/min (20 °C, 1 mPa s) @ 压降 0.03 MPa
Entegris 建议至少每年更换一次过滤器，以确保获得最佳过滤性能。定期更换可减少因过度使用而导致化学品泄漏的机会。
Entegris 的标准保修期为自发货之日起一年。