过滤/纯化

WGFG01KP3,WGFG21KP0,WGFG21KP3,应特格滤芯
  • WGFG01KP3,WGFG21KP0,WGFG21KP3,应特格滤芯

  • WGFG01KP3,WGFG21KP0,WGFG21KP3,应特格滤芯

美国英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WGFG21KP0

 

Wafergard  GT-Plus 在线气体过滤器
幻灯片细节。 
 
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 µm 的颗粒
应用
Wafergard  GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA) 
产品规格
材料    膜:    疏水性氟聚合物 PTFE
     支架、外壳:    粉煤灰
推荐流量    30 升/分钟
连接    1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积    12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留    >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒(在最具穿透性的颗粒尺寸下验证)
运行条件    最大工作压力:    0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
     最大正向压差:    0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
     最大反向压差:    0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
     最高工作温度:    50°C (122°F)
方面    长度:    1/8" 密封件:69 mm (2.7")
1/4" 密封件:71.5 mm (2.8")
     直径:    21.5 毫米(0.85 英寸)
Wafergard  GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号    接头尺寸和类型    长度    选择选项
WGFG01KP0    1/8" 压缩密封    69.0 毫米(2.7 英寸)    10 件装过滤器
WGFG01KP3    1/8" 压缩密封    69.0 毫米(2.7 英寸)    3 件装过滤器
WGFG21KP0    1/4" 压缩密封    71.5 毫米(2.8 英寸)    10 件装过滤器
WGFG21KP3    1/4" 压缩密封    71.5 毫米(2.8 英寸)    3 件装过滤器

LOGO

‭153 3523 8557‭153 3523 8557

无锡市锡山区锡北镇东房桥文八路142号无锡市锡山区锡北镇东房桥文八路142号

wxjinghe@163.comwxjinghe@163.com

二维码

Copyright © 2022 All Rights Reserved 璟和电子科技(无锡)有限公司 版权所有

网站ICP备案号:苏ICP备2022014582号

技术支持:牵牛建站 | 中科商务网  | 网站管理