过滤/纯化

英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WG2F15HJJ6
  • 英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WG2F15HJJ6

  • Wafergard II F-1500 在线气体过滤器
    幻灯片细节。 
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    为超纯气体系统提供卓越的微粒过滤,同时提供与所有类别的半导体工艺气体的出色兼容性。
    PTFE 膜提供高效过滤 
    低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险 
    与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性 
    通过真空袋和双袋包装的洁净室提供卓越的开箱即用清洁度

     

英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WG2F15HJJ6

Wafergard  II F-1500 在线气体过滤器
幻灯片细节。 
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为超纯气体系统提供卓越的微粒过滤,同时提供与所有类别的半导体工艺气体的出色兼容性。
PTFE 膜提供高效过滤 
低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险 
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性 
通过真空袋和双袋包装的洁净室提供卓越的开箱即用清洁度

 

应用
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器应用
设施入口
隔板
设施追逐 
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房  电抛光 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分@≥5% 额定流量
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2×10 -10  atm cc/秒
经过测试 1×10 -9  atm cc/秒
运行条件 最大入口压力 18 bar (250 psig) 在 23°C (73°F)
最大正向压差 7 bar (120 psid) 在 23°C (73°F)
最大反向压差 23°C (73°F) 时为 2.5 bar (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在 1500 slpm 下去除所有颗粒(参考最渗透颗粒尺寸)
流量等级 查看性能数据
零件号
Wafergard  II F-1500 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG2F15HJJ4 1/2" 对焊管 295.0 毫米(11.60 英寸)
WG2F15HJJ6 3/4" 对焊管 295.0 毫米(11.60 英寸)
WG2F15HRR2 3/4" 垫圈密封(与 VCR  接头兼容),外螺纹入口/出口 398.0 毫米(15.68 英寸)
WG2F15HRR3 3/8" 垫圈密封(与 VCR  接头兼容)外螺纹入口/出口 225.0 毫米(8.86 英寸)

 

ENTEGRIS        WGPMOGGT2    
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        XX67000WH    过滤器
ENTEGRIS        WGGB01KAN    气体过滤器
ENTEGRIS        WGFG01KL0    过滤器
Entegris        WGFGT1PR1    过滤器
Entegris        WGFGMBRR4    
ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        YY260103P    滤壳
ENTEGRIS        PN2H010E1    滤芯
Entegris        WGMXMBRR4    过滤器
Entegris        WGFG02PR1    过滤器
Entegris        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        DS12-2C-16F-3    气动阀
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    过滤器
ENTEGRIS        WGPMOGGT4    过滤器
Entegris        WGPM0GGT4    过滤器
Entegris        WG2SS8RR2    过滤器
Entegris        WG3NS6RR2    过滤器
ENTEGRIS        CR8-2CT-12FF-3    阀
ENTEGRIS        YY260103P    滤壳
ENTEGRIS        PN2H010E1    滤芯
ENTEGRIS        WGPMOGGT4    过滤器
ENTEGRIS        XX67000WH    过滤器
ENTEGRIS        WGGB01KAN    过滤器
ENTEGRIS        WGFG01KL0    过滤器
ENTEGRIS        WGMXMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        DS12-2C-16F-3    侦测器
Entegris        WG2SS8RR2    过滤器
Entegris        WG3NS6RR2    过滤器
ENTEGRIS        WG3NS1RR2    过滤器
ENTEGRIS        WG3NS2RR4    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        YY260103N    过滤器
Entegris        CR4-2C-6F-3    气动阀
ENTEGRIS        WGPMOGGT4    过滤器
Entegris        WG2FT1SS2    过滤器
ENTEGRIS        WGFG01DS0(一包十个)    滤芯
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS         CTFV01P01KPW    滤芯
ENTEGRIS        DS12-2C-16F-3 13085331    气动阀
ENTEGRIS        WG3NS2RR4    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        WGMXMBRR4    过滤器
Entegris        CWFV0S1S3    滤芯
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGMXMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        DS12-2C-16F-3    气动阀
ENTEGRIS        WGMXMSRR4    过滤器
ENTEGRIS        CN2501E6    滤芯
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
Entegris        WGPM0GGG2    过滤器
entegris        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WG2SS8RR2    过滤器
ENTEGRIS        CN2501E6    滤芯
Entegris        SVTH01TQ1    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        CN2501E06    滤芯
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFG50PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGFG01DSH    过滤器
ENTEGRIS        PLMV-K12    阀
ENTEGRIS        PLMV-K04    阀
ENTEGRIS        PLMV-K16    阀
ENTEGRIS        PLPV-K04    阀
ENTEGRIS        PLPV-K08    阀
ENTEGRIS        PLPV-K12    阀
ENTEGRIS        PLPV-K16    阀
ENTEGRIS        WG2F02RR2    
ENTEGRIS        CR8-2CT-12FF-3    气动阀
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
Entegris        YY5032PS1    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGMXMBRR2    
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
entegris        WGFGT1PR1    过滤器
Entegris        YY5032PS1    
Entegris        WGFG21KP0    
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGFG01DS0    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGMBRR4    过滤器
ENTEGRIS        LGMXFPRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        LGMXFPRR4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
Entegris        WGFG21KP0    
Entegris        WG2SS8RR2    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器
ENTEGRIS        WGFGT1PR1    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGG2    过滤器
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    
ENTEGRIS        WGPMOGGT2    
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
ENTEGRIS        WG2F15HJJ6    滤芯
ENTEGRIS        LGMXFPRR4    
Entegris        WG2FT1RR2    过滤器
ENTEGRIS        WGPM0GGT4    过滤器

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