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美国ENTEGRIS过滤器WG2L200SS3R4

  • 美国ENTEGRIS过滤器WG2L200SS3R4

  • Ideal for ultra-high purity（UHP）、gao流量气体管线，这些
    Wafergard®II 3XP Mini和Mini XL直列式气体过滤器均为316L
    不锈钢结构，设计流量高出3倍
    速率和比类似过滤器高3位数的保留效率。
    耐用的结构使其成为超高压高流量的理想选择
    中等流速高达500slpm的应用，例如
    扩散、退火、外延工具和连接。

优化的gao流量gao精度316L不锈钢
过滤器元件
实现3倍流量和3位数
保留效率提高
超过现有模型
标准尺寸允许轻松安装到
现有燃气板或输送
没有设计更改的系统
全部316L不锈钢
建设
持久耐用，持久耐用
性能，使其成为
高纯度过滤器的选择
气体系统
提供卓越的气体兼容性
大多数半导体气体
在中提供可靠的性能
高温和动态
压力应用
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