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美国ENTEGRIS英特格过滤器WG2F02RR2 WG2FT1BW2
  • 美国ENTEGRIS英特格过滤器WG2F02RR2 WG2FT1BW2

  • 这些气体过滤器适用于惰性气体和活性气体,与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性,并且易于安装在空间狭小的气体面板和机柜中。

    聚四氟乙烯膜提供高效过滤
    低压降降低了低蒸气压气体中冷凝的风险
    与所有类别的半导体工艺气体具有出色的相容性
    适用于惰性和反应性气体,包括臭氧

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产品规格
材料
过滤元件
由模压聚四氟乙烯结构支撑的疏水性聚四氟乙烯膜
外壳    电抛光的 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度    小于 0.03 个粒子/升(<1 个粒子/立方英尺),大于 0.01 微米
挥发物    <10 ppb 水分
去除率    ≥0.0015 微米
内部表面光洁度 ≤7 微英寸 Ra
氦气泄漏等级  通过认证    2 × 10-10 立方厘米/秒
测试值    1 × 10-9 立方厘米/秒
运行条件    最大入口压力    207 巴(3000 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
最大正向压差    4 巴(60 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
最大反向压差:23°C(73°F)时为 0.07 兆帕(0.7 巴、10 磅/平方英寸)
最高工作温度:120°C(248°F)
颗粒保留率
在 30 立方米每分钟的流量下,对所有颗粒的去除率大于 99.9999999%(9 低限相对值),且针对最易穿透的颗粒尺寸进行测试。
流量等级:请参考性能数据。

PART NUMBERFITTING SIZE AND TYPELENGTHAPPLICATION
WG2FT1BW2 1/4" Butt weld tube89.9 mm (3.54")Semiconductor
WG2FT1RF2 1/4" gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/ female outlet88.9 mm (3.50")Semiconductor
WG2FT1RR2 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Semiconductor
WG2FT1RR2L 1/4" Gasket seal (compatible with VCR fitting) male inlet/outlet84.1 mm (3.31")Life Sciences
WG2FT1SS2 1/4" Compression seal (compatible with Swagelok fitting)73.7 mm (2.90")Semiconductor

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‭153 3523 8557‭153 3523 8557

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