产品规格
材料 过滤元件：NF - 专利的烧结镍膜 SF - 专有的烧结不锈钢膜
外壳底座块：SEMI® F20 316L 电抛光不锈钢
进/出连接件：SurfaceLine 1.125" C 型密封件
拆除等级：>0.0015 微米
内表面光洁度：<5 微米 Ra
氦气泄漏等级：已认证：2×10-10 立方厘米/秒 测试：1×10-9 立方厘米/秒
下游清洁度 颗粒* <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/立方英尺）≥0.01 微米
挥发物** 氢气、氧气和总碳氢化合物的挥发性气体释放量在室温下低于可检测限（通过 RGA 和 FID 测定）
颗粒保留 NF - 对所有颗粒的去除率大于 99.9999999%（以最穿透的颗粒尺寸为基准）
SF - 对所有颗粒的去除率大于 99.9999%（以最穿透的颗粒尺寸为基准）
运行条件 最大进气压力 34.5 巴（500 磅/平方英寸）@ 20°C（68°F）
最大正向/反向压差 10 巴（150 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）NF-Micro 和 SF-Micro
8 巴（115 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）NF-Mini 和 NF-Mini XL
20 巴（300 磅/平方英寸）@ 23°C（73°F）
最大工作温度 无害气体：400°C（752°F）@ 35 巴（500 磅/平方英寸）
腐蚀性和反应性气体：50°C（122°F）@ 35 巴（500 磅/平方英寸）
Part number Description
WGSLNFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Micro filter
WGSLNFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini filter
WGSLNFC1H Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini XL filter
WGSLSFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Micro filter
WGSLSFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Mini filter