气体纯化器的工作原理主要包括吸附法、吸收法、膜分离法和冷凝法。吸附法利用固体物质（如活性炭、分子筛）对气体中的杂质进行吸附，操作简单、能耗低。吸收法通过液体介质（如水、酸、碱）吸收气体中的杂质，适用于易溶于液体的气体。膜分离法利用选择性透过膜的作用实现高效、精确的分离。冷凝法则通过降低气体温度使某些成分凝结，主要用于去除水分或其他低沸点物质。
Entegris的气体纯化器具备高纯度净化功能，其常见型号包括适用于半导体和晶圆制程的GateKeeper系列、高流量超纯透析制程用气体纯化系统Aeronex系列以及用于去除溶剂中金属微污染物的Purasol溶剂纯化器
