现货ENTEGRIS应特格纯化器GPUS35FWX04R00CA

GateKeeper® GPU 液体净化器应用
大宗气体输送
光刻工艺
外延工艺
干蚀刻
晶圆生长沉积物

特色与优势
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过程控制与保护  纯度控制低于每百亿分之一（ppb）的水平
通过净化器的低压降
符合压力设备指令（PED）的 CE 认证
在 ISO 9001:2015 认证的工厂生产
经济高效可再生的——消除处理问题和成本
使用寿命长——提高拥有成本
安全且易于使用  使用环境温度下的净化——无需加热或供电
操作所需
对方向（水平/垂直）不敏感


通用规格—
净化气体：CDA、O₂、CO₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H₂、D₂、NH₃、AsH₃、PH₃、GeH₄、SiH₄、N₂O、NO、CF₄、C₂H₂、(CH₃)₂NH（DMA）、(CH₃)₂N₂H₂（DMHz）


出口粒子过滤器 Wafergard® — 316 不锈钢膜片，孔径 20 微米或 0.0015 微米
使用寿命 一年，当进气含水量为 3ppm 且流量如下页所示时
使用寿命会因进气杂质和流量而有所不同。如需特定应用的使用寿命计算，请联系 Entegris。
可再生 是
危险品（DG）否
工作温度 0° 至 65°C（32° 至 149°F）
泄漏等级 1×10-9 毫巴立方厘米/秒的氦气
结构材料 外壳：316L 不锈钢
认证 符合压力设备指令（PED）的 CE 认证
设计符合 ASME®标准

GPU 35 1 slpm 1.0 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.3 psid

GPU 35 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 84 mm (3.3") 0.3 kg (0.7 lbs)



GPUS500FIX04R02CA    
GPUS2500FIX04R02CA    
GPUS2500FHX04R02CA   

带阀的现货库存