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化学名称/ 传感器
传感器零件编号
标称范围
单位
3MS
三甲硅烷
9602-6210
0…
20 0
ppm
AsH3
砷化三氢 (3 El.)
9602-6001
1 00
砷化三氢 (2 El.)
9602-6000
9602-6002
100
B2H5
硼乙烷
9602-6200
1.00
B;2
溴
9602-6800
5.00
C4F5
全氟丁二烯
9602-9732
50 0
C5FB
八氟环戊烯
9602-9730
CH3F
甲基氟
9602-9720
0.500
% vol
Ct2
氯气
9602-5300
CfF3
三氟化氯
9602-7410
CI02
二氧化氯
9602-7400
CO
一氧化碳
9602-5400
500
COCI2
光气
9602-6600
DCE1,2
氟
9602-9600
1000
F2
Fluorine
9602-6400
9602-6401
30
GeH4
锗烷
9602-6900
5.0
H2
氢气 (1 %)
9602-5100
1 000
氢气 (4 %)
9602-5101
4 00
% vo!
H25
硫化氢
9602-5200
H2S
硫化氢 (有机.)
9602-5201
30 0
H2Se
硒化二氢
9602-5600
HBr
溴化氢
9602-7000
HCI
氯化氢
9602-5800
氯化氢(tropic)
9602-5801
30.0
HCN
氰化氢
9602-5700
HF
氟化氢
9602-6500
HMDS
六甲基二硅氮烷
9602-6714
9602-6715
0 500
N2H4
联氨
9602-7600
NFS
三氟化氮
9602-9700
NH3
氨 (100 ppm)
9602-6704
氨 (1000 ppm)
9602-6705
NO
一氧化氮
9602-7200
250
NO2
二氧化氮
9602-7300
25 0
02
氧气
9602-5500
25.0
03
臭氧
9602-7100
9602-7101
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