不锈钢316L结构
在洁净度为100级的洁净室内进行清洗、焊接、组装、测试和包装
表面粗糙度15-20微英寸（Ra）
使用热去离子水清洗
采用26英寸汞柱（100托）真空生成（效率参考进气压力与真空曲线）
氦气泄漏检测
所有焊接结构
工作温度范围：14°F至160°F（-10°C至71°C）
安装与运行
AP74BV 225SM MV8 FV8
AP71S MV4 MV6 MV4
AP1225S 3PW FV8 MV8 0
AZ1210S 2PW FV8 FV8
AP74BV 225SM MV12
FV12
AP1210S 2PW FV8 FV8 HF
AZ1015S 2PW FV4 FV4
AP72625S 3PW MV4 MV6
TW4
AP1010S 2PW FV4 FV4
KT9L0S 2PW FV4 FV4
