Entegris过滤器IHAZ01P01K原装进口英特格PFA

应用
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• 弱酸基工艺  
如BOE和DHF等化学品  
• 大批量化学品输送与分配系统  
• 超纯水（DI水）  
• 单片晶圆工具  
• 循环式刻蚀槽

产品规格  
HP    HPX    HPM    HSM  
材料    膜层    亲水性超高分子量聚乙烯（UPE）    亲水性聚砜（PS）  
支撑件、套管、端盖、芯体    无纺布高密度聚乙烯（HDPE）  
代码0双2-222 O型圈    封装氟聚合物（E-FKM）或Kalrez® 4079和6375  
Chem-Line™ II一次性使用产品的外壳    —    聚丙烯    聚丙烯    聚丙烯  
Chem-Line™ I一次性使用产品的外壳    —    —    PFA    PFA  
保留等级    0.2、0.1、0.05 µm    0.2、0.1、0.05 µm    0.05、0.03 µm    20、7 nm  
膜表面面积    10英寸：0.85 m²    4英寸：0.5 m²    10英寸：1.9 m²    4英寸：0.6 m²  
10英寸：1.1 m²    20英寸：3.8 m²    10英寸：1.2 m²  
20英寸：2.2 m²    30英寸：5.7 m²    20英寸：2.4 m²  
最大工作条件    最大正向压差    0.34 MPa（3.4 bar；50 psid）@ 25°C（77°F）  
最大反向压力    0.21 MPa（2.1 bar；30 psi）@ 25°C（77°F）  
最高工作温度    70°C（158°F）@ 30 psi    70°C（158°F）@ 23 psi


PART NUMBERS

Intercept® HP/HS Filters Part Numbers