现货ENTEGRIS英特格过滤器WGFGMBRR2原装正品

特点与优势—
• 低压降过滤器节省时间和成本  
• 去除进气中大于0.0015微米的颗粒，可最大限度减少工艺缺陷  
• 小占地面积，安装更方便实施
• 本产品内表面粗糙度 Ra ≤25 µin，可为压缩空气、惰性气体及工艺气体的过滤提供经济高效的解决方案  
• 高可靠性洁净室制造，焊接并经过测试



规格
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材料过滤元件：疏水性PTFE膜，由模压PFA结构支撑  
外壳：阳极抛光316L不锈钢  
颗粒捕获率 ≥99.9999999%（9 LRV）  
（参考最大穿透颗粒尺寸）  
@ 500 slpm  
去除等级 ≥0.0015 µm  
内表面粗糙度 ≤25 µin Ra  
氦气泄漏等级：合格 2 × 10⁻¹¹ Pa·m³/s（2 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s）  
测试值 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s（1 × 10⁻⁸ atm·cc/s）  
工作条件：  
最高工作压力：  
6.0 MPa（60 bar；870 psig） @ 23°C（73°F）  
最大正向压差：  
0.703 MPa（7.03 bar；102 psid） @ 23°C（73°F）  
最大反向压差：  
0.248 MPa（2.48 bar；36 psid） @ 23°C（73°F）  
最高工作温度：  
在惰性气体中为120°C（248°F）  
流量等级：请参见性能数据


PART NUMBERS

Wafergard® SG Gas Filters Part Numbers