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美国ENTEGRIS纯化器GPUS2500FNX08R00CA英特格

  • 美国ENTEGRIS纯化器GPUS2500FNX08R00CA英特格

  • GateKeeper® GPU系列净化器专为提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度而设计。
    纯度可达ppt级  
    兼容多种气体，包括氯气（Cl₂）、氢溴酸（HBr）、盐酸（HCl）、四氟化碳（CF₄）、二氧化硫（SO₂）、六氟化硫（SF₆）等腐蚀性气体  
    净化器压降低  
    符合压力设备指令PED的CE认证，并在ISO 9001-2000标准工厂生产  
    可再生——避免废弃物处理问题和相关成本  
    使用寿命长——降低整体拥有成本  
    采用常温净化

应用
GateKeeper® GPU 气体净化器应用  
大容量气体输送  
光刻  
外延生长  
干法刻蚀  
晶圆生长  
沉积
11

 

 

12

 

 

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