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ENTEGRIS英特格纯化器GPUS10MFEX12R00CA美国原装

ENTEGRIS英特格纯化器GPUS10MFEX12R00CA美国原装
GateKeeper® GPU系列净化器专为提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度而设计。
纯度可达ppt级
兼容多种气体，包括氯气（Cl₂）、氢溴酸（HBr）、盐酸（HCl）、四氟化碳（CF₄）、二氧化硫（SO₂）、六氟化硫（SF₆）等腐蚀性气体
净化器压降低
符合压力设备指令PED的CE认证，并在ISO 9001-2000标准工厂生产
可再生——避免废弃物处理问题和相关成本
使用寿命长——降低整体拥有成本
采用常温净化

应用领域
GateKeeper® GPU 气体净化器应用
大宗气体输送
光刻
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长沉积

净化气体
H2、N2、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H2/N2、H2/惰性气体

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