应用
Wafergard® MAX 线式 PTFE 气体过滤器 应用范围
适用于各类半导体工艺气体
适用于一般氮气及 CDA 应用
产品规格
材料 过滤元件 由模压PFA结构支撑的疏水性PTFE膜
外壳 电抛光低硫316L不锈钢外壳
下游洁净度 粒子含量 小于0.03粒子/升（<1粒子/立方英尺），大于0.01微米
挥发物（银色） H₂O和O₂含量 <10 ppb，低于LDL THC（最低检测限为5 ppb）
去除效率 ≥0.0015微米
内表面光洁度 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20微英寸Ra
WGMX（银色/青铜增强型）MS XXX/XXX ≤7微英寸Ra
氦气泄漏等级 符合标准 2×10⁻¹⁰ atm-cc/sec
测试值 1×10⁻⁹ atm-cc/sec
工作条件
最大进气压力
银色及青铜增强型 1/4" 和 1/2" VCR® 兼容接头：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
青铜 1/4" 和 1/2" VCR 兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
青铜及青铜增强型 1/4"、3/8" 和 1/2" Swagelok® 兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
最大正向压差 7 bar（102 psid）
最大反向压差 2.5 bar（36 psid）
最高工作温度 120°C（248°F）
流量额定值 参见性能数据
保修期 青铜型 1年
银色型 3年颗粒保留率：在最穿透颗粒尺寸处，所有颗粒的去除率超过99.9999999%（即9 LRV）
PART NUMBERS
Wafergard® MAX In-line PTFE Gas Filters Part Numbers
| PART NUMBER |
FITTING SIZE AND TYPE |
LENGTH |
| WGMXMBPRF2 |
1/4" male VCR® compatible inlet, 1/4" female VCR® compatible outlet |
141.2 mm (5.6") |
| WGMXMBRR2 |
1/4" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |
| WGMXMBRR4 |
1/2" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |
| WGMXMBSS2 |
1/4" Swagelok® compatible |
112.7 mm (4.44") |
| WGMXMBSS3 |
3/8" Swagelok® compatible |
117.9 mm (4.64) |
| WGMXMBSS4 |
1/2" Swagelok® compatible |
118.7 mm (4.67") |
| WGMXMPRR2 |
1/4" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |
| WGMXMPRR4 |
1/2" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |
| WGMXMPSS2 |
1/4" Swagelok® compatible |
112.7 mm (4.44") |
| WGMXMPSS3 |
3/8" Swagelok® compatible |
117.9 mm (4.64) |
| WGMXMPSS4 |
1/2" Swagelok® compatible |
118.7 mm (4.67") |
| WGMXMSBW2 |
1/4" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSBW3 |
3/8" butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSBW4 |
1/2" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSRR2 |
1/4" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |
| WGMXMSRR4 |
1/2" male VCR® compatible |
127 mm (5.00") |