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ENTEGRIS英特格过滤器WGFA21KP0
  • ENTEGRIS英特格过滤器WGFA21KP0

  • 可靠地去除流量高达30 slpm的惰性气体中的颗粒物。
    提供高效、低成本的点对点惰性气体过滤  
    > 99.9999999%去除直径大于0.015微米的所有颗粒

    应用
    Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器应用  
    低进气量过滤器  
    晶圆输送系统  
    洁净干燥空气(CDA)

产品规格  
材料:  
膜:疏水性氟聚合物PTFE  
支撑件、外壳:PFA  
推荐流速:30 slpm(每秒120升)  
连接方式:1/8英寸、1/4英寸压缩密封  
膜面积:12 cm²(1.9平方英寸)  
颗粒截留率:去除所有直径大于0.0015 μm的颗粒,截留效率>99.9999999%(在最大穿透粒径处已验证)  
工作条件:  
最高工作压力:20°C时为0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid)  
最大正向压差:20°C时为0.34 MPa(3.4 bar,50.0 psid)  
最大反向压差:20°C时为0.03 MPa(0.3 bar,4.35 psid)  
最高工作温度:50°C(122°F)  
尺寸:  
长度:1/8英寸密封端:69 mm(2.7英寸)  
1/4英寸密封端:71.5 mm(2.8英寸)  
直径:21.5 mm(0.85英寸)

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PART NUMBERS

Wafergard® GT-Plus In-line Gas Filters Part Numbers

PART NUMBER FITTING SIZE AND TYPE LENGTH SELECT OPTION
WGFG01KP0 1/8" Compression seal 69.0 mm (2.7") 10-pack filter
WGFG01KP3 1/8" Compression seal 69.0 mm (2.7") 3-pack filter
WGFG21KP0 1/4" Compression seal 71.5 mm (2.8") 10-pack filter
WGFG21KP3 1/4" Compression seal 71.5 mm (2.8") 3-pack filter

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