955Y 阀门与标准二通阀具有相同的优势。“Y”型阀结构可实现多种操作组合，节省空间，并在标准阀门配置中减少焊接点。
各款阀门的压力和流量要求均不同，请参考二通阀的数据表以确保正确选型。
959W系列调节器是一种高压、带式隔膜调节器。
当密封面发生泄漏时，959W系列带式隔膜调节器可切断腐蚀性或危险性气体的流动。
附加的特殊压缩元件加载设计，可避免湿润区域出现螺纹，从而减少颗粒物的滞留。
对于亚压控需求，NPR959W是可用的。
产品特点：
- 采用绑扎式隔膜，提升安全性
- 独特的压缩元件负载密封结构，直接与阀体连接，无需螺纹喷嘴或额外密封件，可有效防止大气污染
- 金属对金属隔膜与阀体密封，确保高泄漏完整性
- 高耐久性循环寿命
- 标准全内表面电抛光处理
- Vericlean™技术，Veriflo低硫高纯度316L不锈钢材质，显著增强抛光效果、焊接性能及抗腐蚀能力
建筑材料湿润的
316L不锈钢阀体
压缩元件
选项
316L不锈钢（标准）或
哈氏合金C-22®
隔膜选项 316L不锈钢（标准）或
哈氏合金C-22®
密封圈选项 PCTFE（标准）或 Vespel®
柱塞选项 316L不锈钢（标准）或
哈氏合金C-22®
柱塞弹簧
选项
316L不锈钢（标准）或
因科镍合金®
柱塞筛网 哈氏合金C-22®
非湿润型
盖板 镀镍黄铜
螺母 316L不锈钢旋钮
959W ABS（黑色）
NPR959W ABS（白色）
功能性能设计
爆破压力 10,500 psig（724 barg）
保压压力 5,250 psig（362 barg）
流量容量
Cv 选项：Cv 0.04（标准）或 Cv 0.2
内漏率测试方法
内部 < 2 × 10⁻⁹ scc/秒 He
外部 < 2 × 10⁻¹⁰ scc/秒 He
内部容积（不含管件）5.41 cc
约重 2 磅（0.9 kg）
表面光洁度
选项
15-20 微英寸 Ra（标准）或
10 微英寸 Ra
工作条件
基于 Cv 选项的最大入口压力
Cv 0.04：3,500 psig（240 barg）
Cv 0.2：1,250 psig（86 barg）
出口选项
959W
1 - 30 psig（2 barg）
3 - 100 psig（7 barg）
5 - 150 psig（10.3 barg）
NPR959W -25 英寸汞柱 - 0-30 psig
温度范围：-40°F 至 150°F（-40°C 至 65°C）
Parker Veriflo 的超高纯度阀门设计符合严格的材料、设计、清洁度和性能规格，使其成为最苛刻的半导体气体和液体应用的理想选择。Parker Veriflo' s Ultra high purity valves are designed to exacting material, design, cleanliness, and performance specifications which make them ideal for use in the most demanding semiconductor gas and liquid applications.
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀组 – 945Y 系列
945Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.25 Cv 的流量和高达 3500 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。
超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
超高纯度 (UHP) 高流量隔膜阀 – 955 系列
955 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.55 Cv 的流量和高达 250 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。
UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – 955Y 系列
UHP 隔膜 Y 型阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – 955Y 系列
955Y 系列隔膜阀（Y 型块体）将两个高流量阀组合到一个紧凑的阀体中，简化了吹扫系统与气体歧管的集成，同时提高了吹扫过程的效率。
PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
PFA 氮气枪（1/4 或 3/8 英寸）– SG-1 系列
SG-1 系列 PFA 氮气枪专为超高纯度半导体制造应用而设计。可提供 FNPT 或 Parflare 连接。其他选项包括 0.2 或 0.5 微米过滤器和盘绕软管组件（高达 80 psig）。
超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
超高纯度 (UHP) 低流量、低压隔膜阀 – 930 系列
930 系列提供卓越的可靠性、泄漏完整性和清洁度，使其成为需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体应用的理想选择。
UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 psig） – 935 系列
UHP 不锈钢系紧隔膜阀（高达 300 Psig） – 935 系列
935 系列阀门旨在用于超高纯度气体分配系统。它在高流量、低压条件下提供卓越的气体控制，在这些条件下，高泄漏完整性和绝对纯度至关重要。
UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 psig） – 935A 和 935T 系列
UHP 水平交叉连接隔膜阀（高达 300 Psig） – 935A 和 935T 系列
935A 和 935T 系列是 ? 英寸阀门，其阀体包含直径达 2 英寸的流通管连接。这种设计简化了将下降管线隔离阀集成到横向气体分配系统中的过程。
泄压阀 - VR7 系列
泄压阀 - VR7 系列
派克 VR7 系列泄压阀旨在通过在阀座发生轻微泄漏时从调节器排出多余压力来确保下游工艺设备的安全和保护。它有不锈钢材质。
UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物止回阀（最大 1-1/2 英寸）– CV-1 系列
CV-1 系列止回阀具有机械加工的 PTFE 弹簧，可实现低开启压力操作和最小的重新密封背压。它具有出色的耐腐蚀性，专为超高纯度应用而设计。
UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
UHP 不锈钢止回阀 – F9 系列
F9 系列是一种高纯度全焊接止回阀，占地面积小，可提供高达 0.90 的高 Cv，以节省急需的面板空间。F9 非常适合半导体晶圆厂应用、VMB/VMP 和气柜制造商。
UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
UHP PTFE 含氟聚合物高流量止回阀（2 英寸）– CV-32 系列
CV-32 系列 PTFE 高流量止回阀提供低开启压力和高完整性密封，以提供回流保护。它非常适合用于超高纯度半导体制造应用的散装化学品输送系统。
UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
UHP PFA 气动隔膜（1 英寸）二通阀 – PV-12 系列
PV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路和 3 路配置。
UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
UHP PFA 气动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – PV-16 系列
注意：此产品不再可用 - 请联系我们以获得进一步的帮助。
UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
UHP PTFE 气动泥浆阀（最大 1 英寸）– PV-20 系列
PV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。
UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
UHP PTFE 含氟聚合物安全阀（1/4 英寸）- RV 系列
RV 系列是一种 PTFE 安全阀，非常适合超高纯度半导体、去离子水和腐蚀性化学应用。该阀门高度紧凑，可在现场进行调节，以提供安全可靠的泄压。
UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
UHP PFA 气动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – PV-10 系列
PV-10 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 2 路或 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。
超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
超高纯度 (UHP) 低流量/压力隔膜阀歧管 – 930Y 系列
930Y 系列将两个阀门组合到一个主体中，简化了吹扫管线与气体系统的集成。非常适合需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的（超高纯度）半导体应用。
超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
超高纯度 (UHP) 表面贴装隔膜阀 - SM930 系列
SM930 系列表面安装阀具有出色的可靠性、泄漏完整性和清洁度，非常适合用于需要高达 0.30 Cv 的流量和高达 300 psig 的工作压力的 UHP 半导体工具应用
UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 psig） – SM955 系列
UHP 表面安装隔膜阀 – 手动或气动（真空至 250 Psig） – SM955 系列
SM955 系列隔膜阀可配备各种手动操作器和气动执行器。它具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于 UHP 半导体模块化表面贴装系统应用。
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 psig）– 700 系列
UHP 高流量散装设备阀（高达 375 Psig）– 700 系列
700 系列高流量散装设备阀旨在用于超高纯度气体分配系统。它采用独特的轻量化设计，可降低安装成本，并可容纳高达 6 英寸的连接尺寸。
UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/4 英寸）三通阀 – MV-10 系列
MV-10 系列 PFA 手动阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 80 psig）而设计。
UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
UHP PFA 手动隔膜（1/2 英寸）三通阀 – MV-11 系列
MV-11 系列 PFA 阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有 3 路配置，专为超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用（高达 100 psig）而设计。
UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
UHP PFA 手动隔膜（1 英寸）二通阀 – MV-12 系列
MV-12 系列 PFA 隔膜阀具有高泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它非常适用于超高纯度 (UHP) 和腐蚀性流体应用。提供 2 路配置。
UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
UHP PFA 手动针阀（尺寸最大为 1/2 英寸） – MV-13 系列
MV-13 系列 PFA 手动针阀具有出色的泄漏完整性和出色的耐腐蚀性。它有一个 PTFE 套圈，旨在在超高纯度和腐蚀性流体处理应用中提供精确的流量控制。
UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
UHP PFA 手动隔膜（3/4 英寸）二通阀 – MV-16 系列
注意：此产品不再可用 - 请联系我们以获得进一步的帮助。
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 –17R 系列
17R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 0.80 Cv 和工作压力高达 3,000 psig 的配置。
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
超高纯 (UHP) 高流量、高压隔膜阀 – 18R 系列
18R 系列隔膜阀具有出色的泄漏完整性，非常适用于 UHP 散装输送和特种气体系统。提供流量高达 1.30 Cv 和工作压力高达 1,500 psig 的配置。
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
超高纯 (UHP) 高压隔膜阀 – 945 系列
945 系列隔膜阀具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合在 UHP 应用中使用。提供流量高达 0.25 Cv 和工作压力高达 3,500 psig 的配置。
PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
PTFE UHP 手动球阀（最大 1 英寸） – MV-6 系列
MV-6 系列 PTFE 手动球阀具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。它采用全端口设计，可最大限度地减少流量限制，非常适用于腐蚀性化学应用（高达 120 psig）。
UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
UHP PTFE 手动泥浆阀（最大 1 英寸） – MV-20 系列
MV-20 系列 PTFE 泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀性泥浆介质提供卓越的密封。该阀门最大限度地减少了颗粒的产生，专为半导体制造和洁净区应用而设计。
Parker Veriflo 提供一系列不锈钢和含氟聚合物减压调节器，用于关键半导体气体和湿化学和气体分配应用。所有调节器均按照最高质量标准制造，并因其性能、耐用性和可靠性而享誉全球。Parker Veriflo offers a range of stainless steel and fluoropolymer pressure reducing regulators for use in critical semiconductor gas and wet chemical and gas distribution applications. All regulators are built to the highest quality standards, and are recognized world wide for their performance, durability and reliability.
产品列表
UHP 单级、系紧隔膜压力调节器（入口压力高达 3,500 psig）——959W 和 NPR959W 系列
UHP 单级、系紧隔膜压力调节器（入口压力高达 3,500 Psig）——959W 和 NPR959W 系列
959W 系列系紧隔膜压力调节器专为高压 UHP 应用而设计。该系列具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于气柜、阀组箱和上游工艺线。
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/2 英寸）- BR-08 系列
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/2 英寸）- BR-08 系列
BR-08 系列 PTFE 背压调节器适用于超高纯度和腐蚀性流体处理系统。其非泄压设计要求整个阀门有 5 psi 的压差，从而获得更好的下垂特性和低滞后。
UHP 高流量压力调节器 – 手动或圆顶加载（4.5 Cv，500 psig 入口，最大 1-1/2 英寸）– BFR5K 系列
UHP 高流量压力调节器 – 手动或圆顶加载（4.5 Cv，500 Psig 入口，最大 1-1/2 英寸）– BFR5K 系列
BFR5K 系列压力调节器以紧凑的封装提供高流量。其专利设计最大限度地减少了由于供应压力变化引起的出口压力波动，使其非常适用于 UHP 散装气体输送系统（流量高达 5000 slpm）。
单级压力调节器 - QR4000 和 NPR4000 系列
单级压力调节器 - QR4000 和 NPR4000 系列
QR4000 和 NPR4000 是气柜和散装气体分配的绝佳选择。专为增强泄漏完整性和涉及负输送压力的应用而设计。
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/2 英寸）- PR-08 系列
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/2 英寸）- PR-08 系列
PR-08 系列 PTFE 压力调节器专为超高纯度和腐蚀性流体处理系统而设计。其非泄压设计要求整个阀门有 5 psi 的压差，从而获得更好的下垂特性和低滞后。
超高纯度 (UHP) 表面贴装连接隔膜压力调节器 – SMSQ2Micro 系列
超高纯度 (UHP) 表面贴装连接隔膜压力调节器 – SMSQ2Micro 系列
SMSQ2Micro 系列压力调节器专为需要在小外壳内进行精确压力控制的 UHP 应用而设计。该产品的先进性能和规格使其非常适用于关键的半导体工具操作。
高性能、使用点调节器 - SQ 系列
高性能、使用点调节器 - SQ 系列
SQ 系列调压器是高流量、高性能的使用点调压器，设计用于气体公司、设备制造商和最终用户的工艺气柜。
超高纯 (UHP) 系紧隔膜压力调节器 – SQ2Micro 系列
超高纯 (UHP) 系紧隔膜压力调节器 – SQ2Micro 系列
SQ2Micro 调节器专为需要以小尺寸进行精确压力控制的 UHP 使用点应用而设计。该产品的先进性能和规格使其非常适用于关键的半导体工具操作。
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/4 英寸）- BR-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物背压调节器（1/4 英寸）- BR-1 系列
BR-1 系列 PTFE 背压调节器具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。其非泄压设计要求阀门两端有 10 psi 的压差，从而确保在腐蚀性流体应用中稳定的上游压力。
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/4 英寸）– PR-1 系列
UHP PTFE 含氟聚合物压力调节器（1/4 英寸）– PR-1 系列
PR-1 系列 PTFE 压力调节器具有高循环寿命和出色的耐腐蚀性。其非泄压设计要求阀门两端有 10 psi 的压差，从而确保在腐蚀性流体应用中稳定的下游压力。
FR1000系列UHP单级减压调压器
FR1000系列UHP单级减压调压器
FR1000 是一种超高纯度调节器，用于半导体和其他清洁工艺中的气体输送。具有中低流量，是阀组箱、气柜和其他半导体制造应用的绝佳选择
FR1400 系列 UHP 单级、高流量、减压调压器
FR1400 系列 UHP 单级、高流量、减压调压器
FR1400 是一种超高纯度、系紧隔膜、调节器，用于半导体和其他清洁工艺中的高压气体输送。能够高流量，是气瓶或使用点散装和特种气体应用的绝佳选择
UHP 大流量系紧隔膜压力调节器（最大 3/4 英寸）- FR1200 系列
UHP 大流量系紧隔膜压力调节器（最大 3/4 英寸）- FR1200 系列
FR1200 系列系紧隔膜调节器在入口压力高达 1,700 psig 时提供高流量和出色的泄漏完整性。它具有用于高灵敏度的低弹簧刚度，是超高纯度散装和特种气体输送系统的理想选择。