Entegris, Inc.(纳斯达克:ENTG)总部位于美国马萨诸塞州 Billerica,是全球领先的半导体及高科技行业先进材料与工艺污染控制方案供应商,产品覆盖芯片制造的几乎每一个环节。2022 年并购 CMC Materials 后,业务进一步扩展至 CMP 抛光材料领域。全球主要晶圆厂、封装厂与电子化学品企业都是其客户。
Entegris 核心产品线一览
| 产品方向 |
代表品牌/系列 |
典型应用 |
| 液体过滤器与滤芯 |
Microgard™、Impact®、Optimizer®、Eximor®、Torrento®、Fluorogard®、Planargard® |
光刻胶、显影液、湿化学品、超纯水、CMP 浆料过滤 |
| 液体纯化器 |
离子交换/功能膜纯化系列 |
痕量金属离子去除,ppt 级金杂管控 |
| 气体过滤与纯化 |
Wafergard®、GateKeeper®、Chambergard™、VaporSorb™ |
大宗气体/特气颗粒过滤、水氧纯化、AMC 控制 |
| 晶圆与光罩传输 |
A300/Spectra FOUP、EUV 1010、RSP-200 |
300/200mm 晶圆、EUV/ArF 光罩储运 |
| 化学品包装 |
NOWPak®、FluoroPure® |
光刻胶、高粘度 PI、大宗化学品洁净储运 |
| 高纯流体部件 |
FluoroLine®、Integra®、PrimeLock®、Flaretek® |
PFA 管材、阀门、接头,化学品输送管路 |
| 特种材料 |
POCO 石墨、SUPERSiC® 碳化硅、CMP 材料 |
设备部件、抛光工艺 |
PART NUMBERS
Savana® PS Plus Filters Part Numbers
-
Hide Part Numbers
-
| SVAA010E1 |
SVAA010T1 |
SVAA010V1 |
SVAA610T1 |
SVAA61PE1 |
| SVAA61PV1 |
SVAAF10E1 |
SVAAR10E1 |
SVAG010E1 |
SVAG010T1 |
| SVAG010V1 |
SVAG020E1 |
SVAG610E1 |
SVAG610T1 |
SVAG61P01 |
| SVAG61PE1 |
SVAG710E1 |
SVAGF10E1 |
SVAGR10E1 |
SVAGR10T1 |
| SVAH010E1 |
SVAH010T1 |
SVAH010V1 |
SVAH020E1 |
SVAH61P01 |
| SVAH61PE1 |
SVAHF10E1 |
SVAHF20E1 |
SVAHR10E1 |
SVAHR10T1 |
| SVAV010E1 |
SVAV010T1 |
SVAV010V1 |
SVAV020E1 |
SVAV020T1 |
| SVAV540E1 |
SVAV610E1 |
SVAV610T1 |
SVAV61P01 |
SVAV61PE1 |
| SVAVR10E1 |
SVAVR10T1 |
SVAZ010E1 |
SVAZ010V1 |
SVAZ020T1 |
| SVSP010T1N |
SVSP010V1N |
SVSP020E1N |
SVSP020T1N |
SVSP020V1N |
| SVSP510E1N |
SVSP510T1N |
SVSP510V1N |
SVSP520E1N |
SVSP520T1N |
| SVSP520V1N |
SVSP530E1N |
SVSP530T1N |
SVSP530V1N |
SVSPF10E1N |
| SVSPF10V1N |
SVSPF20E1N |
SVSPF20V1N |
SVSX010E1N |
SVSX010T1N |
| SVSX010V1N |
SVSX020E1N |
SVSX020T1N |
SVSX020V1N |
SVSX510E1N |
| SVSX510T1N |
SVSX510V1N |
SVSX520E1N |
SVSX520T1N |
SVSX520V1N |
| SVSX530E1N |
SVSX530T1N |
SVSX530V1N |
SVSXF10E1N |
SVSXF10V1N |
| SVSXF20E1N |
SVSXF20V1N |