应用领域
Wafergard® III NF-750 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温环境应用
阀组箱体
新工厂建设
现有氟聚合物过滤器升级
旋转冲洗干燥机
惰性气体与反应性气体
散装气体
气态气体
产品规格
材料 过滤元件 烧结镍膜过滤器
外壳 电解抛光VAR 316L不锈钢外壳
下游洁净度 颗粒1、2 <0.03颗粒/升（<1颗粒/立方英尺） 在300 slpm时 >0.01 µm
挥发性物质3 水蒸气、氧气和THC的挥发性气体排放低于可检测限值（室温下，RGA和FID检测）
去除效率 ≥0.0015 µm
内表面粗糙度 ≤5 µin Ra
总流面积 140.0 cm²
氦气泄漏等级 符合标准 2 x 10⁻¹⁰ atm-cc/sec
测试数据 1 x 10⁻⁹ atm-cc/sec
工作条件 ZUI大进气压力 52 bar（750 psig） @ 100°C（212°F）
ZUI大正向/反向压差 7 bar（100 psid）
ZUI高工作温度 气体惰性气体 400°C（752°F） @ 27.5 bar（400 psig）
腐蚀性和反应性气体 50°C（122°F） @ 52 bar（750 psig）
保修期 5年
颗粒捕获率 在300 slpm时，所有颗粒的捕获率超过99.9999999%（9 LRV）；在750 slpm时，所有颗粒的捕获率超过99.999%（6 LRV）（以最穿透颗粒尺寸为参考）
流量等级 参见性能数据
订购信息
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零件号 总长度 连接方式
WG3NS7RR2 127 毫米（5.00 英寸） 1⁄4 英寸 垫圈密封（兼容 VCR 接口）公头进/出接口
WG3NS7RR4 127 毫米（5.00 英寸） 1⁄2 英寸 垫圈密封（兼容 VCR 接口）公头进/出接口