APTech主要产品:APTech压力调节器、APTech气动执行器、APTech气动阀门、APTech手动阀、APTech调压阀、APTech单级调压阀、APTech微型调压器、APTech单级高压调压阀、APTech手动隔膜阀、APTech安全阀、APTech单级减压阀、APTech双级减压阀、APTech流量开关、APTech真空发生器。
APTECH自1988年起开始为半导体行业设计和生产压力调节器与阀门,这些产品专为超高纯度应用打造,广泛用于气瓶柜(Gas Cabinet)、大宗气体系统(Bulk Gas System)、点用气系统(Point-of-Use)、气体流程控制盘(Gas Control Panel)、VMB(Valve Manifold Box)等洁净工艺设备。APTECH产品以高纯度316L不锈钢结构、Ra≤10 μin(0.25 μm)镜面抛光、低内部容积、零泄漏、低供应压力影响著称,已成为全球半导体、光伏、LED、LED封装、LED芯片、气体分析、实验室气体、医疗气体、制药、精细化工等行业的标准选择。APTECH主要产品线包括:
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压力调节器(Pressure Regulators)
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气动隔膜阀(Pneumatic Diaphragm Valves)
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手动隔膜阀(Manual Diaphragm Valves)
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背压调节器(Back Pressure Regulators)
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真空发生器(Vacuum Generators)
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流量开关(Flow Switches)
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多端口阀体与配件

APTECH调压阀系列核心技术与优势
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超高纯度与低污染设计
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阀体材质:316L不锈钢(标准),可选904L、双相不锈钢、哈氏合金
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表面粗糙度:Ra≤10 μin(0.25 μm)标准镜面抛光,可选Ra≤5 μin(0.13 μm)
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内部容积极小(0.49 in³ / 8 cm³),减少死体积与清洗时间
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焊接/面密封连接(VCR、Swagelok、Welded)
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宽压力与流量范围
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入口压力:真空至10,000 psig(690 bar)
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输出压力:真空至10,000 psig(690 bar)
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流量范围:几sccm至数千slpm
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手动弹簧加载或气动驱动可选
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气动驱动隔离与故障安全
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低供应压力影响
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多端口与配置灵活
- APTECH调压阀型号与应用
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AP1010系列:2–100 psig(0.14–7 bar)输出,入口3500 psig,3端口对焊/1/4"面密封
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AK1010系列:高纯度调压阀,适用于气瓶柜与点用气系统
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AP9110系列:气动驱动调压阀,故障安全常闭
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AP3700系列:手动隔膜阀 + 传感器集成,250 PSI zui大压力
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AP4650系列:手动隔膜阀,带传感器,适用于高纯工艺
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AZ1015/AZ1100系列:高压调压阀,入口至10,000 psig
- 应用场景
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半导体/光伏/LED:超高纯气体输送(N2、Ar、H2、He、O2、NH3、SiH4、WF6等)
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气瓶柜(Gas Cabinet)与VMB(Valve Manifold Box)
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大宗气体系统(Bulk Gas System)与点用气(Point-of-Use)
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实验室气体分配与分析仪器
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医疗气体纯度控制
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制药/生物工程洁净气体管路
- 相关产品部分型号
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AP1010S 3PW FV4 IV4
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AK1510S 5PC 44000
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AP9110S2PWFV6FV6HF
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AP3700S FV12 FV12
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AP4650S 2PW MV4 TW4
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AP3800S MMV8MV800
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AP9010SM 3PW FV16 FV16 FV4
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AP Tech BP 1000系列背压调节器