ENTEGRIS英特格金属气体过滤器，SI2N0100B
ENTEGRIS英特格金属气体过滤器，SI2N0100B
ENTEGRIS英特格金属气体过滤器，SI2N0100B
Wafergard III 散装在线金属气体过滤器
全金属高流量过滤器满足了在交付点提供无颗粒工艺气体的关注和需求。
适用于所有工艺气体的镍过滤膜
提供多种配件类型以满足客户的安装要求
提供 0.0015 µm 过滤技术，可满足最苛刻的超洁净散装气体输送需求
应用
Wafergard III 散装在线金属气体过滤器应用
散装气田和散装特种气体系统 (BSGS)
超高纯度气体管线
高温应用
新工厂建设和/或升级现有过滤器
Part number Fitting configuration D1 D2 L1 L2
SI2N0010R VCR male – 38.1 mm (1.50") 213 mm (8.4") 35.9 mm (1.41")
SI2N0010RV VCR male – 38.1 mm (1.50") 213 mm (8.4") 35.9 mm (1.41")
SI2N0025R VCR male – 38.1 mm (1.50") 305 mm(12.0") 35.9 mm (1.41")
SI2N0025RV VCR male – 38.1 mm (1.50") 305 mm(12.0") 35.9 mm (1.41")
SI2N0050R VCR male – 76.2 mm (3.00") 213 mm (8.4") 35.2 mm (1.39")
SI2N0050RV VCR male – 76.2 mm (3.00") 213 mm (8.4") 35.2 mm (1.39")
SI2N0050R4 VCR male – 76.2 mm (3.00") 225 mm (8.86") 30.2 mm (1.19")
SI2N0100B Butt weld 25.4 mm (1.00" 101.6 mm (4.00") 267 mm (10.5") 57.2 mm (2.25")
SI2N0100BRR6 VCR male – 101.6 mm (4.00") 384 mm (15.1") 115.85 mm(4.56")
SI2N0100BRR8 VCR male – 101.6 mm (4.00") 384 mm (15.1") 115.85 mm(4.56")
SI2N0200B Butt weld 38.1 mm (1.50") 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 57.2 mm (2.25")
SI2N0200B16 Butt weld 50.8 mm (2.00") 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 52.1 mm (2.05")
SI2N0200R VCR male – 101.6 mm (4.00") 354 mm (13.9") 56.4 mm (2.22")
SI2N0400B Butt weld 50.8 mm (2.00") 152.4 mm (6.00") 358 mm (14.1") 51.9 mm (2.05"
SI2N0200A1007 ANSI 150 RF flange – 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 44.5 mm (1.75")
SI2N0200A1015 ANSI 150 RF flange – 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 39.7 mm (1.56")
SI2N0200A1020 ANSI 150 RF flange – 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 38.5 mm (1.52")
SI2N0200J1015 JIS 10K RF flange – 101.6 mm (4.00") 356 mm (14.0") 41.7 mm (1.64")
SI2N0400A1030 ANSI 150 RF flange – 152.4 mm (6.00") 358 mm (14.1") 28.2 mm (1.11")
产品规格
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
移除等级 0.0015 微米
表面处理内部 <10 µin Ra
下游清洁度 <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
氦泄漏等级 1 x 10 -9 atm cc/秒
最大工作条件 最大工作压力： 50 bar (725 psig) SI2N0010R, SI2N0025R
31 巴 (450 psig) SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R
最大正向/反向压差： 5.2 巴 (75 psid)
惰性气体中的最高工作温度： 200°C (392°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大额定流量下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
Wafergard III 散装在线金属气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
SI2N0010R 10 CFM，1/2" VCR 公头 213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0010RV 10 CFM，1/2" VCR 公头。V=超高纯度 213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0025R 25 CFM，1/2" VCR 公头 305 毫米（12.00 英寸）
SI2N0025RV 25 CFM，1/2" VCR 公头。V=超高纯度 305 毫米（12.00 英寸）
SI2N0050R 50 CFM，3/4" VCR 公头 213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0050RV 50 CFM，3/4" VCR 公头。V=超高纯度 213 毫米（8.40 英寸）
SI2N0100B 100 CFM，对焊管 267 毫米（10.50 英寸）
SI2N0100BRR8 — 384 毫米（15.1 英寸）
SI2N0200A1007 200 CFM，3/4" ANSI 150 RF 法兰 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200A1015 200 CFM，1 1/2" ANSI 150 RF 法兰 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200A1020 200 CFM，2" ANSI 150 RF 法兰 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200B 200 CFM，1 1/2" 对接焊管 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200B16 200 CFM，2" 对接焊管 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0200J1015 200 CFM，40A JIS 10K 射频法兰 356 毫米（14.0 英寸）
SI2N0400A1030 400 CFM，3" ANSI 150 RF 法兰 358 毫米（14.1 英寸）
SI2N0400B 400 CFM，2" 对接焊管 358 毫米（14.1 英寸）