应用领域
GateKeeper® GPU 气体净化器应用
大宗气体输送
光刻
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
通用规格
气体净化
去除杂质
AsH、PH3
水
污染物
<1 ppbV
出口纯度
<1 ppbV
金属
<1 ppbV
出口颗粒过滤器
使用寿命
Wafergard - 316不锈钢膜，20微米或0.0015微米
在入口含湿量为0.5 ppm、流量如下页所示条件下，寿命为一年。
可再生
危险品（DG）
使用寿命因入口杂质和流量而异。具体应用中的寿命计算，请联系Entegris。
工作温度
泄漏等级
材料构成
认证
0°C-65°C（32°F-149°F）
1次每秒10 atm的氦气流量
外壳：316L不锈钢
符合压力设备指令（PED）的CE认证
依据ASME标准设计
