过滤器：NF3必须安装氟利昂过滤器（1830-0027），其他气体不能安装氟利昂过滤器。 所有气体都强烈建议安装灰尘过滤器（780248）。
Midas-T-NP1裂解器安装完成后，用转子气体流量计在过滤器（如有）下端检查流量，标准为500sccm；裂解器刚启动时，通过网页确认流经裂解器加热元器件的流量（55-120sccm)；待裂解器稳定运行时（320 ̊C±25 ̊C）,再次确认流经裂解器加热元器件的流量（最佳值75sccm,范围：55-120sccm，超出此范围将报F92），裂解器温度和流量都在范围之内，无故障出现，NP1即可正常工作。
典型问题：
a. 转子流量计没有流量：检查整个气路的气密性，重新安装裂解器，注意进气管是否自然垂直，有无扭曲。
b. 转子流量计流量低：进行流量标定，如果标定不成功，检查本体的泵能力，更换泵或本体。
c. 裂解器达到额定工作温度时，本体或流经裂解器的流量不稳定，通过流量标定来调节稳定。
3，Midas探测器流量标定
流量标定步骤：
a. 常按上下键后选择进入CAL菜单；
b. 打勾进入选择Flow，打勾确认进入零点标定；
c. 成功后进入500sccm标定，根据外部流量计通过上下键调节实际流量到500sccm；
d. 重复步骤3标定第二点（600/650sccm).
e. 完成流量标定后退出，进入监控模式。
如要确保使用热裂解器时传感器的精确度，则请勿使安装点的环境温度超过30 ℃（86 ℉）。高于此温度下的运行可能需要进行更频繁的实气测试或校准，以确认工作规范。由于热裂解器模块需在较高工作温度下使用，因此Honeywell Analytics强烈建议在所有热裂解器应用中使用通风的Midas顶盖
Midas® NF3和PFC热裂解器模块。该热裂解器与Midas®变送器组合可以检测NF3和各种PFC化合物，包括C4F6、C5F8、CH2F2和CH3F。该装置包括一个螺栓式连接的热裂解器模块，可与任何通用Midas®抽气式变送器（需单独订购）一起运行。这些单元通过直接连接到变送器单元获得供电。有关用该选件可探测的其他气体，请咨询Honeywell Analytics。包括热裂解器快速入门指南和安装螺钉。需单独订购传感器（NF3和CH3F检测用MIDAS-S-XHF或MIDAS-E-XHF；C4F6、C5F8和CH2F2检测用MIADS-S-XCF或MIDAS-E-XCF）。需单独订购通风顶盖（MIDAS-A-103）。 MIDAS-T-0P3 NF3和全氟化合物检测用Midas NP1热裂解器 Midas® NF3和PFC热裂解器模块。该热裂解器与Midas®变送器组合可以检测NF3和各种PFC化合物，包括C4F6、C5F8、CH2F2和CH3F。该装置包括一个螺栓式连接的热裂解器模块，可与任何通用Midas®抽气式变送器（需单独订购）一起运行。这些单元通过直接连接到变送器单元获得供电。有关用该选件可探测的其他气体，请咨询Honeywell Analytics。包括热裂解器快速入门指南和安装螺钉。需单独订购传感器（NF3和CH3F检测用MIDAS-S-XHF或MIDAS-E-XHF；C4F6、C5F8和CH2F2检测用MIADS-S-XCF或MIDAS-E-XCF）需单独订购通风顶盖（MIDAS-A-103）。
